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扫描电镜（SEM）的真空度要求和真空系统的作用是非常重要的。
对于扫描电镜的真空度要求，一般需要在较高的真空度下工作，以确保其成像质量和性能，SEM需要在高真空或者超高真空环境下工作，通常要求的真空度达到一定的标准，例如压力低于一定的帕斯卡值，这样的真空环境能够避免空气中的气体分子对电子束产生干扰，从而保证电子束能够准确地扫描样品并产生高质量的图像。
扫描电镜真空系统的作用就是创造并维持这样的高真空环境，真空系统主要由真空泵、真空阀门、真空计和一些辅助设备组成，它的主要作用包括：
1、抽除电镜腔体内的空气，创造高真空环境。
2、维持真空环境的稳定，确保在SEM工作期间真空度不会受到外界环境的影响。
3、保护电子枪和探测器免受污染，因为高真空环境能够避免气体分子沉积在电子枪和探测器上，从而影响其性能。
4、提高成像质量，因为真空中没有气体分子的干扰，电子束能够更准确地到达样品并反射回来，从而产生更清晰的图像。
扫描电镜的真空度要求和真空系统的作用都是为了确保SEM能够在最佳条件下工作，提供高质量的图像和性能。